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本发明提供光点形状检测方法，包括：检测基板保持步骤，在工作台的保持面上保持检测基板；激光光线照射步骤，通过聚光器对由激光光线振荡构件振荡出且不能对检测基板和进行加工的输出的激光光线进行会聚，并将其照射到检测基板的发光体所处的区域；光强度检测...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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