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本发明提供了一种配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，包括：电镀液池、电镀液收集池、进液选择开关、电镀液分析单元、控制单元以及过滤装置；其中，进液选择开关通过输液管路连接至电镀液池；电镀液池通过排废管路连接至电镀液分析单元；其中，过滤装置布置...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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