【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种配置有电镀液回收使用装置的电镀设备，其特征在于包括：电镀液池、电镀液收集池、进液选择开关、电镀液分析单元、控制单元以及过滤装置；其中，进液选择开关通过输液管路连接至电镀液池；电镀液池通过排废管路连接至电镀液分析单元；其中，过滤装置布置在电镀液分析单元和电镀液池之间；电镀液分析单元通过废液收集管路连接至电镀液收集池；控制单元分别连接至进液选择开关、电镀液分析单元、以及电镀液收集池。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：任存生，张旭昇，张传民，文静，苏亚青，金见安，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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