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描述了可擦除的离子注入的光耦合器。在一个示例中，一种方法包括：将离子注入衬底，以在光器件的波导中形成光栅，该光栅将光信号耦合进出该波导并通过光栅；以及在通过波导耦合光信号之后，对衬底退火以去除光栅。...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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