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本发明公开了一种射频阻抗自动匹配装置及方法，属于微电子技术领域。所述装置包括：第一及第二真空电容检测机构、第一及第二信号变送器、功率计和单片机。第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，功率计与第二信号变送器电连接，单片...该专利属于中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司授权不得商用。