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本发明公开了一种射频阻抗匹配器，属于半导体工艺设备技术领域。所述射频阻抗匹配器包括第一可变空气电容、第二可变空气电容、电感和第三可变空气电容，第二可变空气电容和第三可变空气电容并联后与电感串联，再与第一可变空气电容并联。本发明提供的射频阻抗...该专利属于中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司授权不得商用。