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一种分立式晶控膜厚控制装置，涉及真空镀膜技术领域，所解决的是提高膜厚控制精度的技术问题。该装置包括晶振探头、主机、从机，所述从机内设有用于测量石英晶片谐振频率的晶振频率测量电路，所述主机内设有用于控制镀膜速率的膜速控制电路；所述晶振频率测量...
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