专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
上海大学
>
一种基于金刚石薄膜上沉积CdTe薄膜的方法技术
>技术资料下载
下载一种基于金刚石薄膜上沉积CdTe薄膜的方法的技术资料
文档序号:8239435
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开一种基于金刚石薄膜上沉积CdTe薄膜的方法。具有以下工艺步骤:首先,将硅衬底/金刚石薄膜进行清洗预处理;之后,将预处理后的金刚石薄膜放入紫外臭氧清洗机中进行表面修饰与改性,降低薄膜表面的带隙与表面态,提高薄膜结合力;之后,进行Cd...
该专利属于上海大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。