下载一种基于金刚石薄膜上沉积CdTe薄膜的方法的技术资料

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本发明公开一种基于金刚石薄膜上沉积CdTe薄膜的方法。具有以下工艺步骤:首先,将硅衬底/金刚石薄膜进行清洗预处理;之后,将预处理后的金刚石薄膜放入紫外臭氧清洗机中进行表面修饰与改性,降低薄膜表面的带隙与表面态,提高薄膜结合力;之后,进行Cd...
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