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用于具有膜床的平台的制造的方法包括如下步骤：提供包括硅的平台主体；并且借助激光烧蚀从该平台主体的表面去除硅材料。优选地，经烧蚀的表面被另外氧化；并且经处理并氧化的表面被蚀刻。得到的压力传感器（1）包括具有膜床（6a、6b）的两个平台（2a、...
该专利属于恩德莱斯和豪瑟尔两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩德莱斯和豪瑟尔两合公司授权不得商用。

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