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一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置及方法制造方法及图纸
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下载一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置及方法的技术资料
文档序号:8208783
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本发明公开了一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置及方法。该装置包括密封容器机构,安装于密封容器机构内腔中的工作台驱动系统,与密封容器机构连接的抛光流体循环系统;密封容器机构内腔上部形成负压空间。抛光时利用负压差的吸流效应使抛光流体吸出、复合...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。
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