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多流向元胞集成的LDMOS功率器件制造技术
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文档序号:8191788
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本发明实施例公开了一种LDMOS功率器件,包括:半导体基底;多边形状的LDMOS阳极元胞和多边形状的LDMOS阴极元胞,其中,所述阳极元胞和阴极元胞交错排列于所述半导体基底之中;位于所述阳极元胞和阴极元胞之间的漂移区;将所有LDMOS阳极元...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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