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本发明公开了用于在晶圆插入件上实施切割管芯的方法和装置。公开了方法,包括:接收包括一个或多个集成电路管芯的插入组件,该一个或多个集成电路管芯被安装在插入衬底的管芯侧面上,并且具有限定在集成电路管芯之间的空间中的划线区域,该插入件具有用于接收...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了用于在晶圆插入件上实施切割管芯的方法和装置。公开了方法,包括:接收包括一个或多个集成电路管芯的插入组件,该一个或多个集成电路管芯被安装在插入衬底的管芯侧面上,并且具有限定在集成电路管芯之间的空间中的划线区域,该插入件具有用于接收...