下载连续加压装置的技术资料

文档序号:8190027

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本发明提供了一种连续加压装置。该连续加压装置包括:圆筒(6);压电陶瓷(4),设置于圆筒(6)内;滑块(3),设置于圆筒(6)内,压设于压电陶瓷(4)的上表面,其外侧壁可沿圆筒(6)的内侧壁上下滑动;对顶砧(1),其部分的设置于圆筒(6)内...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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