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绝对式光栅尺总体测量精度的非接触式的自动检测装置属于光栅检测领域，该装置包括：工作台、平行光管、丝杠、第一反射镜、第二反射镜、滑台、光栅尺和激光干涉仪；所述平行光管固定在工作台的一侧；光栅尺中的标准尺放置在工作台上，与工作台上的导轨平行，光...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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