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本发明公开了一种用于MOCVD设备的旋转装置，包括：主轴（1），该主轴安装在下法兰上并通过磁流体封板（2）与下法兰密封，将反应室内部与外界完全隔开，所述的旋转主轴（1）通过磁流体密封装置（3）与马达（4）连接。所述主轴（1）的上端面沿轴向方...该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司;佛山市中山大学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司;佛山市中山大学研究院授权不得商用。