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一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置制造方法及图纸
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下载一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置的技术资料
文档序号:8175195
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一种双坩埚感应加热物理气相传输生长单晶的装置,属于单晶生长技术领域,特别是涉及感应加热物理气相传输生长单晶的装置。包括保温筒,在所述保温筒内设有外坩埚,在所述外坩埚内设有内坩埚,单晶原料与籽晶位于内坩埚内。与使用单坩埚的现有技术相比,本实用...
该专利属于北京华进创威电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京华进创威电子有限公司授权不得商用。
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