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一种半导体故障解析装置(1A)，其具备对半导体器件(S)施加偏压电压的电压施加部(14)、取得图像的摄像装置(18)、及进行图像处理的图像处理部(30)而构成，摄像装置(18)取得各自包含电压施加状态下的发热像的多个解析图像、及电压未施加状...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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