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本发明公开一种等离子体处理装置。本发明的一实施例的等离子体处理装置（1）包括：反应室单元（100），具有相互独立配置的第一室（110）和第二室（120），将基板投入该反应室单元进行等离子体处理；以及等离子体电极单元（120），具有弯折的形态...
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