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一种方法和设备，用于将衬底(W)装载到衬底台(WT)上然后移动衬底台使得，在衬底的参照系中，衬底台以至少为重力加速度的10％的加速度向下加速，由此减小衬底和衬底台之间的摩擦使得衬底的变形可以至少部分地从衬底消除。...
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