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收集器反射镜组件以及用于产生极紫外辐射的方法技术
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文档序号:8165629
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一种收集器反射镜组件(302)包括:包括反射表面(304)的收集器反射镜(co’)和具有边缘(308)的孔(306)。所述孔延伸通过反射表面。所述组件还包括管状主体(310),所述管状主体(310)具有内表面(312)和外表面(314)。所...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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