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本发明涉及一种电弧气相沉积源，其带有导电的陶瓷靶板（1），在靶板的后侧上设置有冷却板（10），其中在要气相沉积的表面（2）上在中央区域中设置有屏蔽装置（3），使得在气相沉积源运行时，电弧的阴极斑点并不到达表面的中央区域（6）中。...
该专利属于欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫）所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫）授权不得商用。

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