下载一种具有沟槽源极场板的Trench MOSFET晶体管及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种具有沟槽源极场板的TrenchMOSFET晶体管及其制备方法,所述晶体管下往上依次包括漏极(213)、衬底(200)、漂移区(201)及源极(212);漂移区(201)设有若干深沟槽(202),深沟槽(202)内设有沟槽源极...
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