下载一种沟槽式金属氧化物半导体场效应管的技术资料

文档序号:8162672

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本发明公开了一种包括具有多个悬浮的沟槽环的终端区的沟槽式金属氧化物半导体场效应管。根据本发明的多个悬浮的沟槽环的深度等于或大于位于有源区的体区的结深。根据本发明的沟槽式金属氧化物半导体场效应管还包括一个等势环,其位于终端区且包围所述的多个悬...
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