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包角晶体管及其制造方法技术
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文档序号:8162670
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一种包角晶体管及其制造方法,该制造方法包括在衬底中形成隔离结构,定义出有源区。之后,进行处理工艺,使有源区的衬底两边具有尖角。接着,于有源区的衬底的表面上覆盖栅介电层。然后,于栅介电层上形成栅极导体层。于栅极导体层两侧的衬底中形成源极区以及...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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