下载薄膜晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:8162656

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本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法。薄膜晶体管包括栅电极、半导体层、栅绝缘层、源电极、漏电极和石墨烯层。半导体层与栅电极交叠。栅绝缘层设置在栅电极与半导体层之间。源电极与半导体层交叠。漏电极与半导体层交叠。漏电极与源电极间隔开。石墨烯图案...
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