下载基于埋层N型阱的异质结1T-DRAM结构及其制备方法的技术资料

文档序号:8162649

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本发明提供了一种基于埋层N型阱的异质结1T-DRAM结构及其制备方法,有效增大了体区与埋层N型阱之间、体区与源区之间的孔穴势垒,从而有效增大1T-DRAM单元的体电势的变化范围,进而有效增大其阈值电压的变化范围,使得读出的信号电流变大,即增...
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