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本发明一种降低铜的化学机械抛光形成表面蝶形凹陷的方法，工艺步骤包括：铜互连线的上表面进行的电镀工艺之后，需淀积一层填充材料，并进行回流，用以消除铜互连线经电镀工艺之后表面起伏形貌。通过本发明一种降低铜的化学机械抛光形成表面蝶形凹陷的方法，有...
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