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本发明解决的问题是提供了一种半导体设备，包括：冷却水提供单元，用于提供冷却水；泵单元，用于将所述冷却水提供单元的冷却水抽取，并且提供至被冷却单元，所述泵单元与被冷却单元之间的管路上设置有水压监控单元，用于对所述泵单元与被冷却单元之间的管路的...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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