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热处理炉以及热处理装置制造方法及图纸
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文档序号:8162524
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本发明提供一种热处理炉以及热处理装置。该热处理炉具有:处理容器,其用于收容一个以上的被热处理体;绝热部件,其用于覆盖该处理容器的周围;加热单元,其沿该绝热部件的内周面配置。该绝热部件具有内侧绝热部件和相对于内侧绝热部件独立地设置的外侧绝热部...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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