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本发明提供了一种处理腔中晶圆位置检测装置及方法。本发明的处理腔中晶圆位置检测装置包括：摄像机、光源以及监视器；其中，光源布置在晶圆处理腔内或者布置在晶圆处理腔外以使得光源能够照射晶圆处理腔内部；并且其中，所述摄像机布置在晶圆处理腔内或者布置...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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