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MOSFET及其制造方法技术
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文档序号:8162494
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本申请提供了一种MOSFET及其制造方法,该MOSFET包括:半导体衬底;半导体衬底上的第一绝缘埋层;在第一绝缘埋层上的第一半导体层中形成的背栅;第一半导体层上的第二绝缘埋层;在第二绝缘埋层上的第二半导体层中形成的源/漏区;第二半导体层上的...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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