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光刻投影物镜中光学元件X-Y微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻投影物镜中光学元件X-Y高精度调整问题，该装置包括镜框、两个驱动器和两个电容传感器，所述两个驱动器和两个电容传感器分别固定在镜框上，驱动器安装...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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