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本发明涉及一种使用微透镜阵列，能够将微细的曝光图案以高分辨率和较短的生产节拍间隔时间曝光转印到基板上的曝光装置和曝光方法。本发明的曝光装置具有：掩模装载台（10）；基板装载台（20）；用于照射图案曝光用光的照明光学系统（30）；具有由多个微...
该专利属于恩斯克科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩斯克科技有限公司授权不得商用。

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