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本发明提供一种基板处理装置的数据取得方法和传感器用基板，能够取得基板面内的各部分的风向的数据。实施以下步骤求得基板的面内的风向的分布：将在表面设置有用来取得气流的矢量数据的第1传感器和第2传感器组成的多个传感器对的传感器用基板载置于载置部的...
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