下载闸阀和使用其的基板处理系统的技术资料

文档序号:8159394

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本发明提供一种即使一次处理的被处理体的个数增加,也能够缩短阀体的升降距离的闸阀。该闸阀具备:被按压到取出和放入被处理体的多个开口部(61a~61d)的阀体(63);设置在阀体63)上的按压部(67);与开口部(61a~61d)的开口面平行地...
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