温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型的名称为电子束用行星盘定位环。属于功率半导体器件生产设备技术领域。它主要是解决现有大面积只能手工平板镀膜浪费人力及有机物，并且不能在保持芯片干净的问题。它的主要特征是：包括一个带孔定位环和一个与该带孔定位环配合的定位夹板；其中，带...
该专利属于湖北台基半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北台基半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。