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本实用新型的名称为一种器件快速烘干设备。属于功率半导体器件生产设备技术领域。它主要是解决现有器件烘干只能使用烘箱,并且不能在烘干过程中保持器件干净的问题。它的主要特征是:包括烘箱,所述的烘箱包括通道型烘箱箱体和设置在烘箱箱体内的红外烤灯;在...该专利属于湖北台基半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北台基半导体股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型的名称为一种器件快速烘干设备。属于功率半导体器件生产设备技术领域。它主要是解决现有器件烘干只能使用烘箱,并且不能在烘干过程中保持器件干净的问题。它的主要特征是:包括烘箱,所述的烘箱包括通道型烘箱箱体和设置在烘箱箱体内的红外烤灯;在...