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文档序号:8134036

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碳化硅衬底(SB)具有衬底表面(12B)。栅绝缘膜(15)以覆盖所述衬底表面(12B)的一部分的方式设置。栅极(17)覆盖所述栅绝缘膜(15)的一部分。接触电极(16)设置在所述衬底表面(12B)上、邻近所述栅绝缘膜(15)并与所述栅绝缘膜...
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