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从晶圆转移晶片的方法和装置制造方法及图纸
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下载从晶圆转移晶片的方法和装置的技术资料
文档序号:8134020
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这里公开了一种从晶圆转移晶片的方法,包括利用多心轴吸取头部从晶圆吸取两个或多个晶片,其中所述多心轴吸取头部是可转动的。本方法还包括将所述多心轴吸取头部从晶圆进给器移动到置放机,和将两个或多个被吸取的晶片呈现到置放机用于随后进行置放。这里还公...
该专利属于UI控股公司所有,仅供学习研究参考,未经过UI控股公司授权不得商用。
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