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本发明提供一种感光性树脂组合物，其对波长350nm~410nm的光线的灵敏度非常高，分辨率、密合性、曝光后的印出性优异，并且可得到稳定的生产量，而且在溶剂中的溶解性良好，抗蚀剂中不容易产生析出物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其含有(...
该专利属于日合墨东株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日合墨东株式会社授权不得商用。

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