温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种等离子发生装置及方法，包括石英管和电感线圈，所述石英管的两端分别设有进气口和出气口，所述电感线圈缠绕于所述石英管外侧靠近进气口的位置，还包括设于所述石英管内部的使气体靠近所述电感线圈流动的导流罩。本...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。