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本发明公开了一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法，在等离子体刻蚀剖面演化过程中，将刻蚀的初始剖面形状用初始的水平集函数加以描述，并通过重新初始化函数对初始的水平集函数进行修正，进一步通过等离子体流中的离子角度分布和能量分布拟合出整个演...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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