下载单结构三轴微机电陀螺仪的技术资料

文档序号:8130044

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本发明公开了一种单结构三轴微机电陀螺仪,该陀螺仪由用来测量x轴和z轴角速度的xz轴结构和用来测量y轴角速度的y轴结构组成。xz轴结构沿x轴对称布置,y轴结构沿y轴对称分布,相邻的xz轴结构和y轴结构之间在外侧使用脐带连接,使得三轴结构获得单...
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