本发明公开了一种单结构三轴微机电陀螺仪，该陀螺仪由用来测量x轴和z轴角速度的xz轴结构和用来测量y轴角速度的y轴结构组成。xz轴结构沿x轴对称布置，y轴结构沿y轴对称分布，相邻的xz轴结构和y轴结构之间在外侧使用脐带连接，使得三轴结构获...

本实用新型公开了一种单结构三轴微机电陀螺仪，该陀螺仪由用来测量x轴和z轴角速度的xz轴结构和用来测量y轴角速度的y轴结构组成。xz轴结构沿x轴对称布置，y轴结构沿y轴对称分布，相邻的xz轴结构和y轴结构之间在外侧使用脐带连接，使得三轴结...