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本发明公开了一种微型低压化学气相淀积实验装置，属于半导体化学气相淀积技术领域。该装置包括反应系统，真空系统，至少一个反应气体供应系统，以及，N2供应系统；真空系统为反应系统提供实验所需的真空环境，反应气体供应系统向反应系统通入反应气体，N2...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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