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一种复合式压力传感器包括:基底,所述基底具有CMOS控制电路,位于所述CMOS控制电路上的第一互连结构和第二互连结构,所述第一互连结构、第二互连结构与所述CMOS控制电路电连接;位于所述基底上的电容式压力传感器,与所述第一互连结构电连接;位...该专利属于上海丽恒光微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海丽恒光微电子科技有限公司授权不得商用。
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一种复合式压力传感器包括:基底,所述基底具有CMOS控制电路,位于所述CMOS控制电路上的第一互连结构和第二互连结构,所述第一互连结构、第二互连结构与所述CMOS控制电路电连接;位于所述基底上的电容式压力传感器,与所述第一互连结构电连接;位...