下载一种全自动半导体晶片激光加工装置的技术资料

文档序号:8113625

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本实用新型公开了一种全自动半导体晶片激光加工装置,是由前支架、后支架、激光加工系统、多个旋转平台、自动传输系统、多个与旋转平台相对的自动取片/放片系统和两个晶片料盒升降系统组成;激光加工系统和多个旋转平台均设置于后支架上;自动传输系统、多个...
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