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本发明提供了用于完成用于处理一个或多个微电子工件的工具中的工具表面清洗的清洗方法和组件。本发明可用于清洗结构，所述结构以如下方式位于正处理的工件的上方，即，部分地用作处理腔室上面的盖，同时也在工件上方限定出锥形流动通道。取代以产生过度的飞溅...
该专利属于FSI国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过FSI国际公司授权不得商用。

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