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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:8082305
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半导体器件(5),其包括支撑衬底(60)、置于支撑衬底(60)上的导电层(50)以及置于导电层(50)上的至少一个III族氮化物半导体层(200)。在III族氮化物半导体层(200)之中,导电层邻接III族氮化物半导体层(200c)具有n型...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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