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半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:8082255
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从晶片加工用胶带良好地剥离半导体芯片,提高了拾取成功率。制造方法具有以下工序:在半导体晶片(13)上贴附晶片加工用胶带(10)后,将半导体晶片(13)切割为多个半导体芯片(11);以及从晶片加工用胶带(10)拾取贴附于晶片加工用胶带(10)...
该专利属于古河电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过古河电气工业株式会社授权不得商用。
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